ケミカルフィルター

ケミカルガード TOMBO No.8803-HC/-HA/-HT

TOMBO No.8803
ケミカルガード®

ケミカルガード®
TOMBO No.8803-HC/-HA/-HT

クリーンルームや半導体製造装置などに対応した低濃度のガス(アンモニア、酸、有機物など)を除去するフィルターです。独自のハニカム製造技術を応用し、吸着材・機能材を壁内に大量に担持することで、極めて低濃度(数μg/m3)のガス成分も高効率に除去することができます。

特長

  • 極微細ハニカム構造による高接触面積により高除去率を、吸着容量の大きい吸着剤の選定により長寿命を実現させました。

種類

TOMBO No.8803-HC

塩基性ガス除去用ケミカルフィルター
アンモニア、トリメチルアミンなど

TOMBO No.8803-HA

酸性ガス除去用ケミカルフィルター
SOx、NOx、Clなど

TOMBO No.8803-HT

有機ガス用ケミカルフィルター
DOP、DEP、シロキサンなど高沸点有機物

その他

  • 「ケミカルガード」「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
  • 禁止事項、注意事項はカタログ「半導体・FPD関連製品」をご参照ください。
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